解决方案
半导体/电子特气领域纯化设备供应商
集成电路
01
硅片制造
形成CVD膜
去除金属杂质
金属复合层刻蚀
对产品的质量和性能，多个制造环节影响重大
太阳能光伏
02
工艺中扩散、光刻、沉积等工序设备所需
太阳能晶体硅电池片
薄膜太阳能电池片
生产过程所需
LED/激光
03
LED外延片、芯片
外延片生长和芯片的加工
外延片（载气、反应气）
芯片（蚀刻）环节
LCD/光纤
04
应用于成膜和干刻工艺
成膜工艺（做溅射气体、受激发产能低温等离子体）
刻蚀（硅岛、沟道和接触孔）
